双轴激光扫描系统的基本原理介绍

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一束激光被两片扫描振镜反射，并且通过一片聚焦镜。振镜片在一个galvo-扫描器马达的带动下高速的来回延轴旋转。在大多数情况下,最高偏转角镜是+12.5°(+10°往往是一个较安全范围)入射角不能偏于45°。


在设计双轴扫描器时，我们的目标是：
能够达到理想的扫描范围.
能够达到最高的速度.
能够达到最小的焦斑.
使得成本能够最低.
一些要考虑到的限制因素：
光束质量的因素q(q=m2).
扫描角度的限制因素.
光束能量减少的因素.
扫描器通光口径的影响因素.
扫描器的扫描范围
光束的扫描范围较超过某个角度q，等于两倍的振镜反射角。因此，在x和y两个方向上扫描的范围可能是q=±20°。（最大的扫描范围应该是q=±25°）。在x和y轴上，实际的扫描面积应该是2ftanq。
近似值发生的原因：
通常在镜片的设计中，会考虑到它的失真现象。所以对于q来说扫描的位置是对称的，而不是tanq。
在双轴上扫描时，会出现几何失真的现象，这个是与镜头的属性不相干的。
焦斑尺寸
焦斑尺寸下限d(1/e2亮度直径)相对于激光光束直径‘d’(1/e2)是d=13.5qf/dmm例如：一束tem00(q=1)的直径是13.5mm(1/e2)用一个焦距100mm的理想聚焦镜片，焦距出来的点的直径是100mm（带入一个实际数值q=1.5,焦斑尺寸应该是150um.）
从上面的方程式可以看出，光的速度和光学畸变可导致聚焦点大小都大于最低衍射值。
大尺寸范围需要使用长焦距镜头。相反的，这会导致更大的聚焦点，除非把光束直径大小，振镜大小，和镜头直径全部加大。
在大多数的扫描结果里，焦斑的尺寸大小通常是以平均值的形式给出的。
割光现象
扫描器的口径往往是有限的，比如说直径是‘a’mm。光的衍射发生在有限的口径中，也就是光束的能量会被阻挡，即使是一束中心光束也一样。对于一束tem00光束（q=1），它在圆孔的能量损耗可以参考下面的数据：
a/d0.811.21.41.61.82loss%27.813.55.61.980.60.150.03
表中显示,那里的扫描器口径仅限于a毫米直径,激光光束直径d(1/e2)必须选定一个尺寸和功率低损耗的折衷点。对于大多数的激光扫描系统来说d=a/1.4这个值可以被接受。
振镜的设计
振镜1（或者叫振镜x）
振镜1的宽度是由光束的直径所决定的。完整光束直径在这里是比较容易讨论的，完整的光束直径在一定程度上是任意的。
例如,一个系统设计师可能将df界定为激光射在有机玻璃留下的烧焦的光束直径。另外df可能被定为一个能量为99%的标准能量点，或者是限定在某个范围内，如1.4d╟1.6d.
考虑到镜片的误差，振镜的宽w1要略微大于所选择的df的值。镜片上的最大入射角imax决定了振镜的长度。让a=(90°-imax)。当振镜的长度是l1，这里l1=w1/sina.
振镜2（或者叫振镜y）
振镜2的宽度应该等于振镜1的长度。振镜2的长度就是光束打在第二个振镜上时同s1的距离，和最大入射角q。这些镜片被制作并被镀上的特定的膜层，从而决定用于co2激光还是yag激光。他们有很高的激光损伤值,1000w/mm的情况下光束直径是1/e2（d）.
f-theta的特点
我们将镜头描述为f-theta镜头，或者‘fq’。设计的方法是要产生一个离轴点的位置成正比的扫描角度。依次，就是要产生成正比的电压，已适用于扫描器马达。由于失真是来自于两个振镜，所以我们两个轴上的扫描器要有能够转动f-theta的特征。
单片式镜片设计得最好的折衷点是要同时具备最小光斑尺寸与f-θ特点。对于单片式的镜头，在f-theta特征下，误差通常是2%-3%。多片式的镜头，它的设计会更加接近f-theta的特点。f-theta特征的误差范围是