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镀膜主要工艺因素简介

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发表于 2018-9-12 16:33:46 | 只看该作者 回帖奖励 |正序浏览 |阅读模式
镀膜主要工艺因素如下:
1.基板处理;包括抛光、清洁、离子轰击;
2.制备参数;包括基板温度、蒸发速率、真空度;
3.蒸汽入射角;
4.老化处理
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